14.1 一般规定
14.1.1 洁净厂房工程施工完成后应进行验收,验收宜划分为竣工验收、性能验收、使用验收。
14.1.2 竣工验收应在分项验收合格后进行。
14.1.3 性能验收应在竣工验收完成后进行,并应进行检测。
14.1.4 使用验收应在性能验收完成后进行,并应进行测试。
14.1.5 洁净厂房验收的检测状态应分为空态、静态和动态。竣工验收阶段的检测宜在空态下进行,性能验收阶段宜在空态或静态下进行,使用验收阶段的检测应在动态下进行。
14.2 洁净厂房的测试
14.2.1 洁净厂房的验收中,在进行各项性能检测前,净化空调系统应正常运行24h以上,并应达到稳定运行状态。
14.2.2 检测用仪器仪表均应进行标定,并应在标定有效期内。
14.2.3 洁净厂房测试应按验收阶段分段进行。竣工验收阶段的检测应确认各项设施符合工程设计和合同的要求;性能验收阶段的检测应确认各项设施均能有效、可靠地运行;使用验收阶段的检测应按产品生产工艺和“动态”活动要求,确认各项设施有效、可靠地运行。
14.2.4 洁净厂房性能测试项目应符合表14.2.4的要求。具体工程项目的性能测试清单、测试顺序等应按本规范附录B执行。
14.2.5 空气洁净度等级的检测应对粒径分布在0.1μm至5.0μm之间的悬浮粒子的粒径和浓度进行测试,空气洁净度等级应符合设计和建设方的要求。对于超微粒子、宏粒子的测试结果,应根据业主或设计要求确定。
检查数量:全数检查。
检验方法:按本规范附录C。
14.2.6 洁净厂房内应根据生产工艺要求进行浮游菌、沉降菌的检测。
检查数量:全数检查。
检验方法:按本规范附录C。
14.2.7 风量和风速的测试,对单向流洁净室的送风量应以测试的平均送风速度乘以送风截面积确定;非单向流洁净室的送风量可采用直接测试或测出风口风速乘以出风截面积确定。
检查数量:按房间或区域,全数检查。
检验方法:按本规范附录C。
14.2.8 压差测试,应为检验洁净室(区)与其周围环境之间的规定静压差,应在洁净室(区)的风速、风量和送风均匀性检测合格后进行静压差测试。
检查数量:按房间或区域,全数检查。
检验方法:按本规范附录C。
14.2.9 对已装空气过滤器应进行检漏;应在安装后的过滤器的上游侧引入测试气溶胶,并应及时在送风口和过滤器周边、外框与安装框架之间的密封处进行扫描检漏。检漏测试可在“空态”或“静态”进行。
检查数量:全数检查。
检验方法:按本规范附录C。
14.2.10 气流流型和气流方向,应在风量、风速和静压差等测试达到要求后进行检测。
检查数量:单向流、混合流洁净室(区)抽检50%以上,非单向流洁净室(区)抽检30%以上。
检验方法:按本规范附录C。
14.2.11 应在相关的净化空调系统连续、稳定运行后再进行洁净室(区)的温度、相对湿度检测,并应达到设计要求。
检查数量:按房间或区域,全数检查。
检验方法:按本规范附录C。
14.2.12 对于空气洁净度等级严于5级的洁净室(区),应进行围护结构密闭性的测试。
检查数量:全数检查。
检验方法:按本规范附录C。
14.2.13 洁净室(区)内的噪声测试,应在“空态”或与建设单位协商的状态下进行检测,室内噪声应达到标准规定值。
检查数量:按房间或区域,全数检查。
检验方法:按本规范附录C。
14.2.14 洁净室(区)的照度测试,应在室内温度稳定和光源光稳定状态下进行,室内照度值应达到设计要求。
检查数量:按房间或区域,全数检查。
检验方法:按本规范附录C。
14.2.15 对于非单向流洁净室,应进行自净时间的检测。
检查数量:按房间或区域,全数检查。
检验方法:按本规范附录C。
14.2.16 当洁净厂房中设有需微振控制的精密设备仪器时,应对微振控制设施的建造质量进行检测,并应达到设计要求。
检查数量:按房间或区域,全数检查。
检验方法:按本规范附录C。
14.2.17 洁净室(区)的地面、墙面和工作台面的表面导静电性能,应根据生产工艺要求进行检测,并应达到标准规定或设计要求。
检查数量:按房间或区域,全数检查。
检验方法:按本规范附录C。
14.2.18 洁净厂房的每项测试均应编写测试报告,并应包括下列主要内容:
1 测试单位的名称、地址,测试人和测试日期;
2 所测设施名称及毗邻区域的名称和测试的位置、坐标;
3 设施类型及相关参数;
4 测试项目的性能参数、标准,包括占用状态等;
5 所采用的测试方法、测试仪器及其相关的说明文件;
6 测试结果,包括测试记录、分析意见;
7 结论。
14.3 竣工验收
14.3.1 洁净厂房的竣工验收,应在各分部单机试车,无生产负荷系统试车自检合格后进行。竣工验收应包括对各分部工程的单机试车、无生产负荷系统试车的核查、洁净室(区)性能参数检测和调试、各分部观感质量核查。
14.3.2 洁净厂房竣工验收时,应检查竣工验收的下列文件及记录:
1 图纸会审记录、设计变更通知书和竣工图;
2 各分部工程的主要设备、材料和仪器仪表的出厂合格证明及进场检验报告;
3 各分部工程的单机设备、系统安装及检验记录;
4 各分部单机试运转记录;
5 各分部工程、系统无负荷试运转与调试记录;
6 各类管线试验、检查记录;
7 各分部工程的安全设施的检验和调试记录;
8 各分部工程的质量验收记录。工程质量验收记录用表应按本规范附录D执行。
14.3.3 洁净厂房内各分部工程的观感质量核查应符合本规范第5章~第13章的相关规定。
检查数量:各分部按系统抽查20%,且不得少于1个系统;各类设备、部件、仪表和阀门等按数量抽查20%,且不得少于1台或10件。
检验方法:观察检查、尺量。
14.3.4 各分部工程的各类设备单机试车的核查应符合本规范第5章~第12章的相关规定。
检查数量:按数量每种单机抽查20%,且不得少于1台。
检验方法:按本规范第5章~第12章的相关方法。
14.3.5 各分部工程的各类系统的单机试车核查合格后,应进行无生产负荷的稳定运行核查,并应符合本规范第5章~第12章的相关规定。
检查数量:每一分部按系统抽查20%,且不得少于1个系统。
检验方法:按本规范第5章~第12章的相关方法。
14.3.6 洁净厂房竣工验收的主要测试内容应包括下列测试:
1 气流目测;
2 风速和风量测试;
3 已装过滤器的检漏;
4 洁净室(区)的密闭性测试;
5 房间之间的静压差测试;
6 空气洁净度等级;
7 产品生产工艺有要求者,应进行微生物测试或化学污染物测试或特殊表面的洁净度测试;
8 自净时间;
9 温度、相对湿度;
10 照度值;
11 噪声级;
12 其他需要进行的检测项目。
14.3.7 洁净厂房竣工验收后,应由施工方编写竣工验收报告,除应包括本规范第14.3.2条的内容外,还应包括下列内容:
1 观感核查记录;
2 分项测试记录及分析意见;
3 测试仪器的有效校验证书;
4 结论。
14.4 性能验收
14.4.1 洁净厂房的性能验收应经过规定的检测和调试,确认洁净室(区)性能参数均应满足产品生产运行的要求。
14.4.2 洁净厂房竣工验收合格,并经核实批准后,应按设计要求进行性能验收,性能验收的主要测试内容应包括下列测试:
1 检测空气洁净度等级;
2 生产工艺有要求者,还应进行微生物测试或化学污染物测试或特殊表面的洁净度测试;
3 洁净室(区)的温度、相对湿度的稳定性测试;
4 检测自净时间;
5 检测洁净室(区)的密闭性测试;
6 测定照度;
7 测定噪声级;
8 需要时,确认和记录气流形式和换气次数;
9 需要进行的其他检测项目。
14.4.3 洁净厂房的性能验收后,应编写验收报告,应包括下列主要内容:
1 洁净厂房中各种设施的开启状态描述;
2 分项测试记录及分析意见(包括测试点位置、坐标等);
3 测试仪器的有效校验证书;
4 结论。
14.5 使用验收
14.5.1 洁净厂房的使用验收应在设计规定的使用状态下进行检测和调试,确认洁净室(区)的动态性能参数均应有效满足使用要求。
14.5.2 使用验收的主要检测内容应包括下列测试:
1 检测空气洁净度等级;
2 生产工艺有要求者,还应进行微生物测试或化学污染物测试或特殊表面的洁净度测试;
3 温度、相对湿度的稳定性测试;
4 确认洁净室(区)的密闭性能;
5 建设方需要进行的其他检测项目。
14.5.3 洁净厂房使用验收后,应编写使用验收报告,应包括下列主要内容:
1 洁净厂房中各种设施(包括生产工艺设备)等的开启状态描述;
2 测试的洁净室(区)人员及其活动情况的描述;
3 分项测试记录及分析意见(包括测试点位置、坐标等);
4 测试仪器的有效校验证书;
5 结论。