随着我国的电子厂房设计观念不断创新，超大面积洁净室系统经济制造价格逐渐增加。高架地板和华夫孔都是洁净室常用材料，其二者各有优缺点，在实际应用中需要根据情况来选择。1 概述        

    在最初电子工厂洁净室系统中，尤其是在电子平板显示器件洁净室中，因为洁净室洁净程度相对较高，需要在洁净室里设置垂直通风系统结构。在最初洁净室系统中，地面结构通常设置成高架地板支撑系统，主要是通过可调节支架、横梁、面板等部分组合，部分洁净室对于地面承重程度要求相对较高，通常在高架地板下设置独立工字钢来作为高架地板的支撑调平结构。高架地板支架、横梁、面板技术能力要达到设计要求以及我国现有规范规定。高架地板是通过支架、横梁、面板组装，水平地板和面板之间存在一定悬空空间，可用于走线或是回风。在目前电子显示屏洁净室中，出现华夫孔，它是一种新型垂直单向无尘室地板结构。华夫孔盖板地板结构特征便是：地面可以通风、透气性能好。功能结构与高架地板相似：一是作为新型地面材料进行承重，二是带孔华星筒盖板表面有空洞。可以达到洁净室内部气流循环[1]。                                                                       

2.高架地板

2.1高架地板介绍        

高架地板可称为防静电楼板，也称为分散式静态楼板，即在接地时或与任何较低电势点连接时，电荷可以分散。洁净后可能导致某些器材损坏，软件人员有时会错认为这是软件出现BUG，此外，当静电通过身体发出计算机或其他设备时，当能量达到一定水平时，可能会出现打火状态。高架地板形状为矩形，基本上长宽呈60厘米*60厘米，地板厚度约为55mm-60mm，会有少量上下浮动。地板厚度因制造商而异，取决于轴承不同厚度。高架地板基材为模压铝合金，表层为2mm-3mm厚防静电PVC板或1mm-2mm厚不锈钢贴面。地板类型包括盲板、多孔板(即蜂窝板，开孔率为17%、25%)、格栅板(开孔率50%)和视窗板。视窗板下有工艺设备工艺所需气体冷却或工艺水阀，并提供可视板，操作人员在洁净室中可以观测并关闭或者开启设备阀门。高架地板能承受80千克以上压力[2]。

2.2高架地板安装步骤        

高架地板施工步骤包括立柱、横梁、转角接头、地板系统、地板、测试和质量控制。安装时现场实际温度应控制在在5-35摄氏度之间，相对湿度应小于80%。地板在安装过程中极易出错，如没有达到某一角度，因此需要在地板施工前进行预设，以防止由于重大安装误差而导致施工延期。在安装中若出现现场边角部分不契合现象时，可以对地板进行切割根据具体情况进行镶嵌。配备可调节支架，在切割边缘与墙面物体相交地，使用无灰尘软材料进行填补。在安装屋顶支撑结构之前，检查水平高度，其前端必须符合设计要求，高度误差范围必须符合设计要求范围内，建筑材料必须符合设计要求。如果设计中没有特殊要求，则必须满足以下要求:空底板表面平整牢固，板与表面之间必须牢固，具有耐磨性、耐湿性和阻燃性。车架、线束和车钩表面应光滑干净，钢件应采用锌合金、塑料喷涂或其他防锈处理。防静电性能指标、机械性能和外观质量应符合SJ-10796防静电地板通用规范要求。施工中具备基本设备和工具，包括切割机、平板、米尺、清洗打蜡机、测试电极和测试仪水平仪等。工具规格、性能和技术指标应符合施工技术要求[3]。

2.3优点

（1）承重        

高架地板承重能力强。洁净间内人员在地板上行走、清洁。自动驾驶搬运车需要在高架地面上行驶，运输产品。一些生产设施直接放置在地板上，给高架地板增加载重。承重是活动地板最重要功能之一，保障人员安全和设备安全。

（2）通风        

天花板上装有FFU，相当于高效过滤器，气流从天花板向下流动，通过多孔板形成层流，最后进入下面两层。使得洁净间通气足，减少潮湿和空气流通不畅问题。保障设备不易生锈，工作人员呼吸通畅。

（3）防静电        

高架地板属于耗散静电地板，如果它接地或连接到较低电位点，它可以消散电荷并防止电子元件静电放电。中国SJ/T10796-2001《抗静电高架土壤通用规范》规定活动地板的表面电阻或体积电阻为 2.5*l04Ω- 1.0*109Ω。在洁净间中设备和产品数量多，静电会影响设备准确性和产品功能性。

2.4缺点

（1）易损伤        

楼板边缘的中心通常很弱，通常导致结构损伤。如果高地板支撑系统设计不好，地板的上升边缘可能会在高压下破碎下沉，这可以通过放置负载轴承梁来解决。

（2）薄弱        

高架地板中间部分最弱，移动过程设备时，设备支撑腿会对楼板造成结构损伤，楼板表面会出现小坑。

3.华夫孔盖板地板

3.1华夫孔盖板介绍        

华夫孔板楼板结构是近年来洁净室的一种新楼板结构，主要由瓦片开孔、转换环和盖板组成。华夫孔板本身通常自带开环，而且顶板表面具有抗静电性能。因此在抗静电测量中华夫孔板与高架地板系统具有相同抗静电效果，但高架地板系统相比，华夫孔板安装效果更好[4]。

3.2施工步骤

（1）准备建筑材料和工具        

华夫孔板维修环、石英砂、滑石粉和环氧树脂，搅拌器、橱柜等。

（2）材质配置        

根据配置系数将环氧树脂、石英砂和滑石粉混合，然后将它们倒入搅拌槽中，以制造出环氧树脂胶泥，注意必须在特定时间使用，否则会因硬化而损坏。

（3）涂抹        

用刮刀刮除并覆盖修补环底部环氧树脂华夫格孔，以达到涂层均匀，不允许涂层泄漏，用量应根据实际情况确定。

（4）定位        

用刮刀按压华夫孔板修复环进行定位。

（5）设置        

用橡胶锤轻轻敲击，调整定位修复环周围表面高度。标准高度必须在激光平面上监控，以适应基点。

3.2优点

（1）简单        

与高架地板施工相比，华夫孔施工过程比较简单。

（2）价格低        

一般来说，市场高架地板价格约为2500元/平方米左右。但是如果采用华夫孔覆盖层结构，则价格应为1400元/平方米左右，与高架地板相比节约一半。

3.3缺点

（1）技术要求高        

对施工技术要求高，环节琐碎。

（2）需养护        

需要进行养护，保养期间，严禁工人和物品掉在上面，并对其施加影响。

（3）环境要求高        

施工环境和卫生要求较高，环氧树脂胶泥需要随时清理，禁止遗留。环氧树脂胶泥硬化后难以清洗，对以后工作有很大影响。