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项目名称：

芯恩（青岛）集成电路有限公司建设集成电路研发生产一期项目洁净室及工艺排气系统工程。

项目意义：

该项目的承接实现了一公司乃至中建三局在半导体制造领域洁净厂房建设“0”突破；

该项目是青岛市乃至山东第一条12英寸集成电路研发生产线项目，也是全国首个协同式集成电路制造（CIDM）项目；

该项目打破了青岛市、山东省制造业“缺芯少面”的局面，弥补了集成电路产业空白，将在汽车电子、人工智能、5G通讯及物联网等领域的核心技术上实现突破，支撑青岛市乃至山东省家电、汽车、机械制造等产业转型升级和创新发展；

该项目也是公司调整产业布局，积极响应国家“中国智造2025”战略的坚实举措。

不同区域洁净度要求：

部分洁净室洁净等级达到目前行业可实现的最高洁净等级——ISO Class3级（个级，在1立方米空气中，粒径大于或等于0.1微米的悬浮粒子数量不超过1000个）【提问：还记得不同洁净度的回风方式吗？施工完全不同的】

洁净室组成及空调系统：

整个洁净室由上至下可分为上夹层、生产层、下夹层三部分。采用集中送风系统，空气采用MAU（组合式空调机组）＋FFU（高效过滤器）＋DCC（干盘管）处理方式，打造了一个稳定的空气洁净循环系统。

空气洁净循环系统：①MAU将新风送入上夹层后，FFU将新风进一步过滤并将之抽入生产层。②洁净空气向下流动形成垂直流，垂直向下的空气带动生产层中漂浮的灰尘颗粒经高架地板及华夫筒进入下夹层。③从生产层进入下夹层的热风再经DCC降温冷却后，经回风夹道向上流动与MAU送入的新风混合，回到上夹层，再经FFU重新过滤成为洁净的气流。

地面环氧施工：

位于生产层与下夹层之间的高架地板和华夫筒是洁净室项目中的“常客”。华夫筒又叫华夫楼板，与常规楼板不同的是，楼板上开有一个个直径350毫米的华夫孔洞，远望就像是一块华夫饼。而高架地板铺设在华夫楼板上，地板表面开孔，经过FFU处理的空气经小孔与华夫筒垂直导入下方的下夹层，从而保证在洁净室内形成垂直的气流流形。

芯恩洁净室地面环氧的施工包括底涂、中涂、面涂三层。在底涂施工之前，必须历经地面打磨、地面破损修复，之后才能依照施工计划安排，择机完成中涂和面涂。

洁净墙板施工：

作为守护洁净室的第一道雄关，洁净墙板的安装更是一个细致活儿。首先要用激光水准仪进行测量，确定好天轨、地轨以及侧边卡槽的位置，必须保证三者在同一水平面上才能将天轨、地轨和侧边卡槽安装到位。墙板安装时，要保证洁净墙板之间能紧密贴合，上下两端同时入轨，再缓缓将洁净墙板推送至预定位置。洁净墙板初步装好后，要立即进行成品保护。后期还要用密封胶将所有缝隙全部堵上，保证室内的密闭性。

龙骨及盲板施工：

在洁净室中，如果把龙骨单独拿出来说事，那它仅仅只是一种建筑材料，能够起到支撑造型、固定结构的作用。但是如果与其他的材料、设备组合在一起，那就在洁净室中发挥出巨大的作用。

首先是与盲板组合，起到防尘、隔音、隔温的作用。当盲板安装完毕，经过一系列的密封处理后，就将洁净室TRUSS层的各类风管、水管等设施与洁净室隔离开来。一方面，良好的密闭性防止洁净室空气受到污染，保证洁净室空气的洁净水准；另一方面，两种材料的隔温性能可以保证洁净室内的环境温度不受影响；最后，隔音、吸音的性能可以降低噪音，营造良好的工作、生产环境。

其次是与FFU组合，FFU可以将洁净室内的洁净度维持在标准范围内。

再次是与消防喷淋系统的末端——喷淋头组合。一个个的喷淋头从龙骨的十字接头处进入洁净室内，承担起洁净室内消防安全的重任。

最后是与洁净灯具等构成洁净室内的照明系统。