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电子工业洁净厂房生产环境根据其生产工艺的特点和要求对房间内的微粒数量有严格要求

1 引言

为了保证生产产品的高精度、高纯度和高成品率，对空气的洁净度有了更高的要求。洁净室在电子、光伏、航天、医药等诸多行业都得到了广泛的应用。

2 电子行业洁净室的特点

电子行业洁净室在气流组织、洁净等级和温湿度控制上都有它显著的特点：

（1）气流分布要求很均匀。洁净厂房为维持室内高洁净度，必须带走室内所产生的微尘粒子，因此对气流组织有严格的要求。

（2）温湿度要求精度高并且恒定。由于电子产品的制造工艺对温、湿度的变化极为敏感，所以在洁净室里的工艺区域，空气参数必须严格控制在极小的范围内。

（3）洁净室内新风量大、换气次数高。电子行业的洁净室内有诸如烘箱之类的工艺设备，产热极大，这些热量主要依靠工艺冷却水和工艺热排风带走，房间内的各种大风量排风意味着需要补充大量经热湿处理过的新风来维持室内正压。同时，为了维持房间高洁净度就需要较多的换气次数来过滤尘埃粒子。

（4）洁净室空调冷负荷大并且湿负荷很小，热湿比值接近+∞。电子行业的洁净室一般都置于建筑物的中部，虽然通过围护结构的得热量较小，但洁净室内工艺设备的发热量相当大，即全年需要排除室内余热量。

3 MAU+FFU+DCC洁净空调系统

MAU+FFU+DCC系统即组合式新风机组（Make-upAir Unit）+ 风机过滤器单元（Fan Filter Unit）+ 干盘管（Dry Cooling Coil）系统。这种空调方式是将室外新风经过新风机组处理后送入洁净室的回风夹道内，干盘管负责处理空气至所要求的参数，然后用FFU来循环空气从而达到洁净度要求的换气量。通常新风机组将新风处理到室内露点温度，承担新风负荷及室内湿负荷，干盘管承担室内的显热负荷，FFU负责循环及过滤空气。即湿度由新风机组负责，温度由干盘管负责，洁净度由FFU负责的空气处理系统。MAU+FFU+DCC系统与其他方式相比有以下几条优点：

（1）灵活性大，满布率高。对电子工厂而言洁净空调系统的灵活性是很重要的。如果车间内洁净度随工艺变化而须作区域性调整时，可通过改变FFU风量或置换盲板来改变局部地区的洁净度。当密集布置时，满布率可达85.5%。

（2）FFU上部顶棚为负压，可起密封的作用。顶棚内呈负压，洁净室内空气压力大于顶棚内的空间。如果FFU与支架密封处有缝隙，则由于顶棚内为负压使得未经高效过滤的空气不能进入室内，对保证洁净室的洁净度有利。

（3）空气流动系统的阻力小，出风口的风速低。干盘管的迎风面积较大，空气流动阻力在50Pa左右，回风夹道截面积亦大，回风夹道阻力在15Pa以内，多孔地板及格栅等的阻力也较小，回风全部阻力总和在250Pa以内。

（4）单位风量的能耗较低。采用FFU后不需要再增设加压风机，风机化整为零，不需专设机房，同时取消了送风管路的阻力。当FFU采用DC/EC（电子整流）电机时，出口风速可在

0.25～0.45m/s调整，电机的效率可达75%～80%，还可根据过滤器降压进行单独的调速控制以节约能耗，所以单位风量的能耗一般比大型离心风机的集中系统要低。