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洁净室的专业划分

 

简单整理了洁净室的专业划分：

说明一下：以上专业划分不含土建、结构和普通装修。

 

 

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各专业的系统组成

 

 

一、建筑专业

砌体工程、门窗工程、室内外装修工程（楼/地面工程、抹灰工程、吊顶工程、轻质隔墙工程）、屋面、油漆涂料工程、防火构造

建筑专业（洁净装饰）

洁净室天花板系统（应注意吊挂荷载标准值）、洁净室墙系统（含门窗）、洁净室地面系统（活动地板系统、环氧地面、PVC地面、聚氨酯地面、不锈钢地面）

洁净装饰，简单的说：墙、顶、地。

输出：六面图。

关于“六面图”，不在今天的讨论范围之内，有机会后面单独做一个介绍。

洁净室附属设备：风淋室、货淋室、气闸室、传递窗、隧道传输型传递箱、余压阀、清扫装置、无尘衣鞋柜、洗鞋机、无菌自动洗手烘干机、洁净工作台、生物安全操作台、隔离手套箱、洁净棚

 

二、暖通专业

一般空调系统、洁净空调系统、一般通风系统、工艺排风系统、事故通风系统、防排烟系统、空调配管（低温冷冻水、中温冷冻水、热水、蒸汽、热回收管道）、真空清扫系统

空调冷热源一般是包含在气动专业。

机电各专业应注意抗震设计，下面不再重复说明。

 

三、给排水专业

生活给水系统、生产原水供水系统、中水（回用水）供水系统、排水系统、污水系统、雨水系统、工艺循环冷却水（PCW）系统、纯水系统、超纯水（UPW）系统、软化水系统、工艺废水系统（工艺废水的种类在<第九章 工艺服务系统>介绍）

消防给水系统：消火栓给水系统、自动喷水灭火系统、FM200气体灭火系统（气体灭火系统同属于第八章 通信专业 生命安全系统的组成部分）

给排水应注意节水节能设计。

 

四、气动专业

低温冷冻水系统、中温冷冻水系统、常温循环冷却水系统、热回收系统、热水系统、蒸汽和凝结水系统、天然气系统、供油系统、工艺真空系统、大宗气体供应系统（工艺氮气PN2、工艺氮气GN2、工艺氢气PH2、工艺氧气PO2、工艺氧气PO2、工艺氩气PAr、工艺氦气PHe、压缩空气CDA、仪表用压缩空气IA、压缩空气CDAS）

冷冻水及热回收系统组成：低温离心式冷水机组、中温离心式冷水机组、热回收型离心式冷水机组、冷冻水一次泵、冷冻水二次泵、热回收水一次泵、热回收水二次泵、膨胀水箱、加药装置、管道及阀门附件、保冷材料等。

冷却水系统组成：冷却水泵，冷却塔，加药装置，沙滤系统，管道及阀门附件等。

热水系统组成：热水锅炉、高热水循环水泵、热水循环泵、板式换热器、定压补水装置、管道及阀门附件、保温材料等。

 

五、供电专业

供电电源（变电站部分）、供配电系统（高压配电系统部分）、过电压保护和接地装置、厂区供配电线路及户外照明、建筑物防雷保护

 

六、电照专业

供配电系统（低压配电系统部分）、照明系统、应急照明系统、插座系统、动力配电系统、工艺配电系统、接地（综合接地系统、保护接地、防静电接地与洁净室防电磁干扰（EMI）接地、静电放电）、母线、桥架干线

 

低压配电电源分为正常电源N、应急柴油发电机电源E、动态UPS和静态UPS不间断电源，其中静态UPS电源由应急电源E提供，就地设置在负荷较小的建筑中，为控制系统用。应急E电源主要供重要的工艺设备、动力设备、应急照明系统、生命安全系统、控制系统等负荷用电。应急负荷中有一些特别重要的不允许断电负荷如：部分特别重要的工艺设备、动力设备、消防报警控制及洁净室应急照明系统、保安系统、广播系统、IT系统、FMCS监控系统、气体监测及监控系统等，采用动力站集中设置的动态UPS电源或在厂房内就近设静态UPS电源来满足负荷电源的要求。

 

七、自控专业

全厂动力设施管理与控制系统（FMCS），PLC分布式控制系统结构，其系统主要组成：

    1) 控制系统：包括双冗余PLC控制器、远程I/O、数据通信网络、继电器盘及相应的系统软件；

    2) 人机界面（HMI）：包括用户操作工作控制站、DATESEVER、工程师工作站、打印机；

    3) 现场仪器仪表、执行器；

    4) 集线器柜；

    5) 控制电缆、网络线路；

    6) 气控管路及控制组件。

 

FMCS系统可整合如下控制子系统：

给、排水系统（监视和控制）

一般空调系统（监视和控制）

中央动力系统，包括冰机及冰水系统、冷却水系统、锅炉、热水系统、热回收系统、燃油系统与天然气系统（监视和控制）

洁净室空调系统（监视和控制）

工艺冷却水/工艺真空/真空清扫系统（监视和控制）

化学品和研磨液分配系统（只监视）

大宗气体与特殊气体系统（只监视）

超纯水系统（只监视）

废水处理系统（只监视）

POWER SCADA电力监控系统（只监视）

独立的控制子系统应设置同样标准、典型的报警和参数信号。所有独立子系统调试运行后，经以工业太网连接在一起。所有系统的操作、参数及报警设定可在中央或分操作工作站完成。

就地控制的独立子系统如：空气压缩机、冰机、锅炉、洗涤塔等设备自带控制盘，经FIELD BUS或I/O口连接到PLC控制系统。

FFU由专门独立的计算机控制系统来控制，每一个FFU可由专门的PC进行速度控制和监视。数据传送采用就地开放式LON网络协议，每一个FFU单元可通过PC屏幕显示的不同数字编号和网格来标识。FFU的供电由专用的配电盘提供。FMCS只是监视FFU系统。

 

八、通信专业

生命安全系统：火灾报警及联动控制系统、极早期烟雾探测系统（也叫空气采样探测报警系统）、特气探测报警控制系统、可燃气体泄漏报警系统、气体灭火系统、广播系统、防火门监控、电气火灾监控及消防电源监控系统、大空间主动喷水灭火系统、消防电源监控系统；

电话/网络综合布线系统：行政办公网、生产设备MES管理网、弱电设备网、无线覆盖网等；

安保系统：安保集成网络系统、门禁控制一卡通系统、闭路电视监控系统（CCTV）、厂区周界报警系统。

 

 

九、工艺服务系统

特殊气体供应系统：C4F6、CH2F2、CH3F、CH4、SiH2Cl2 (DCS)、SiH4、CO、B2H6、PH3、AsH3、BCl3、Cl2、HBr、CH4、HF、SO2、WF6、F2/Kr/Ne、F2/Ar/Ne、He/N2、C4F8、CF4、CHF3、CO2、He/O2、Ar/Xe/Ne、SF6、Kr/Ne、NF3、SiCl4、SiF4、NO、F2/N2、H2/N2、N2O、NH3、PD2

化学品供应系统：酸/碱类：H2O2 31%、H2SO4 96%、H3PO4 80%、HCl 36%、HF 49%、HF 5.1%、HNO3 69%、NH4OH 2%、NH4OH 29%、PCMP 5510(CA222)、HF/BTA Mixture (CA120)、EC 3:1、TIMAH、Viaform D18、EKC570 CuSolve、CuSolve EKC580 (CA227)、Nanoplate ST-3200 (CA113）、H3PO4 85%、KDSP-100、NaOH等21种；溶剂类：Ethyllaktat - RER 800、IPA、OPD 4262 (CC215)、PlanarClean(CC218)、CX 100、PGMEA、NE111、BTA0.003%、CLK 888、Ethyllactat - Ethyllaktat Ultragrade、TEOS(CS212)、TEOS(CS123)、TEOS II(CS223)、ACT 970共14种

工艺废水处理系统：一般酸碱废水、浓酸废水、稀酸废水、浓碱废水、稀碱废水、高浓度含氟废水、低浓度含氟废水、氨氮废水、臭氧废水、高浓度氢氟酸废水、稀氢氟酸废水、有机废水、含铜废水、综合废水等