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控制温度的目的可对净化车间带来好处
2023-06-20       来源: 青岛洁净净化技术

 

 

控制温度的目的可对净化车间带来好处

净化车间与普通车间不同之处就在于内部的空气质量的洁净度。湿度控制它是净化车间生产必须具备的重要条件,相对湿度是净化车间、洁净室运作过程中一个常用的环境控制条件。

打比方在大型集成电路生产的光刻环光工艺中,玻璃和硅片作为掩膜板数据的热膨胀系数的差异越来越小。直径100um硅片,温度上升1度,导致0、24度um线性膨胀是必要的±0.恒温1度,共同要求湿度值较低。因为人出汗,以后会污染产品,尤其是钠的半导体车间,不会超过25度。湿度过高会导致更多的问题。当相对湿度超过55%时,冷却水管壁会结露。如果发生在精密装置或电路中,会造成各种事故。当相对湿度达到50%时,很容易生锈。但是,对于大多数,为了防止外部污染侵入,需要保持内部压力(静压)高于外部压力(静压)。保持压差一般应符合以下原因:

控制温度的目的可对净化车间带来好处

1.洁净度等级高的空间压力高于相邻洁净度等级低的空间压力

2.相通洁净室之间的门应打开洁净度等级高的房间

3.青岛净化车间的压力高于非洁净空间的压力。保持压差取决于新风量,这应该能够补偿在这种压差下从缝隙漏出的风量。因此,压差的物理含义是通过洁净室各种缝隙泄漏或通风时的阻力。由于洁净室主要依靠空气的稀释来减少室内污染的程度,主要采用通风次数的概念,而不是直接采用速度的概念,但对室内气流速度也有以下要求:

1.出风口气流速度不仅太大,与简单的空调房相比,速度衰减更快,扩散角度更大。

2.吹水平面的气流速度不能太大,以免吹出表面颗粒回流,造成再污染。

 

 

 

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