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无尘室洁净度测试标准建议
2022-02-14       来源: 暖通净化行业协会

每一种行业,甚至每一家公司或工厂,对无尘室的要求可能都不一样。各公司在订定测试规格时,应依照自己的制程需求,在相关规范里取出自己适用的部份,并要求供货商与测试单位照办,必要时可以酌情修改测试标准,才能真正满足自己的需求。

作为业主,在制定无尘室的洁净度等级给工程公司时,可以参考以下几条:

首先:洁净度等级定义的模式应为:Class X (at Y μm )

其中 X 是无尘室的等级,例如 100 或 10000 等等,Y是粒径如 0.2μm , 0.5μm 等,可复选。意思就是使用者规定,该无尘室微粒含量,在这些粒径必须满足该等级的限度。这样可以减少纷争,以下是几个例子:   Class1 (0.1μm,0.2μm , 0.5μm)  、    Class 100(0.2μm , 0.5μm )、 Class 100(0.1μm, 0.2μm , 0.5μm ) 。在 Classes 100 (M3.5) andGreater  (Class 100,1000,10000....),一般看一个粒径即可。在 Classes Less than 100 (M3.5)  (Class10,1.... ) ,一般要看多几个粒径。

第二:规定无尘室的状态,

例如:Class X (at Y μm ), At-rest

供货商就很清楚知道无尘室要在 At-rest状态下验收。

第三:自订微粒浓度上限,一般在 As-built 时无尘室都很干净,微粒控制能力测试不易,这时可以干脆把验收上限压低

例如:

Class 10000 (0.3 μm <= 10000), As-built 
Class 10000 (0.5 μm <= 1000), As-built 

这样做的目的是确保无尘室在 Operational 状态时,依然有足够的微粒控制能力。

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