每一种行业,甚至每一家公司或工厂,对无尘室的要求可能都不一样。各公司在订定测试规格时,应依照自己的制程需求,在相关规范里取出自己适用的部份,并要求供货商与测试单位照办,必要时可以酌情修改测试标准,才能真正满足自己的需求。
作为业主,在制定无尘室的洁净度等级给工程公司时,可以参考以下几条:
首先:洁净度等级定义的模式应为:Class X (at Y μm )
其中 X 是无尘室的等级,例如 100 或 10000 等等,Y是粒径如 0.2μm , 0.5μm 等,可复选。意思就是使用者规定,该无尘室微粒含量,在这些粒径必须满足该等级的限度。这样可以减少纷争,以下是几个例子: Class1 (0.1μm,0.2μm , 0.5μm) 、 Class 100(0.2μm , 0.5μm )、 Class 100(0.1μm, 0.2μm , 0.5μm ) 。在 Classes 100 (M3.5) andGreater (Class 100,1000,10000....),一般看一个粒径即可。在 Classes Less than 100 (M3.5) (Class10,1.... ) ,一般要看多几个粒径。
第二:规定无尘室的状态,
例如:Class X (at Y μm ), At-rest
供货商就很清楚知道无尘室要在 At-rest状态下验收。
第三:自订微粒浓度上限,一般在 As-built 时无尘室都很干净,微粒控制能力测试不易,这时可以干脆把验收上限压低。
例如:
Class 10000 (0.3 μm <= 10000), As-built
Class 10000 (0.5 μm <= 1000), As-built
这样做的目的是确保无尘室在 Operational 状态时,依然有足够的微粒控制能力。